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技術文章
TECHNICAL ARTICLESSensofar共聚焦白光干涉儀|測量原理
Sensofar共聚焦白光干涉儀雖然一開始作為高性能 3D 光學輪廓儀設計,但是我們的某些系統所有現有的光學輪廓儀,集所有技術于一身。
Sensofar共聚焦白光干涉儀條紋投影非常適合大面積測量,垂直 精度和可重復性高,系統噪聲低。
我們的Sensofar共聚焦白光儀系統采用不同光學測量技術進行工作,一部分系統采用組合技術。聚集這些技術的優點,外加技術和操作軟件,成就市場上競爭力的高級測量設備。
采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系統那樣 – 在軟件中單擊一次就可將系統切換到適合當前任務的技術
S neox 傳感器頭采用 4 種測量技術 – Ai 多焦面疊加、共聚焦、干涉 & 光譜反射 – 因此每種技術都是實現系統通用性的重要因素,有利于減少數據采集時不希望發生的缺陷,同時提供 Sensofar 的表面測量性能。
技術
Sensofar共聚焦白光干涉儀的系統采用微顯示掃描技術。
微顯示以硅基鐵電體液晶 (FLCoS) 技術為基礎,打造沒有運動零件的快速切換裝置,
使共聚焦圖像掃描快速、可靠、精確。微顯示器結合高分辨率掃描臺和可更換物鏡,
構成了一套靈活的光學系統。