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干式液氦溫區探針臺 LHe-6H-06真空腔體:真空度優于6×10-4 Pa。降溫后優于6×10-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)。
超低震動干式液氦光學液氦低溫恒溫器,使用氣體導熱隔震,實現樣品臺納米級的機械穩定性。為有效降低環境震動影響,產品設計安裝在光學隔震平臺上。
室溫自動探針臺 TZ-H-06高可靠性探針臺系統,主要應用在半導體/微電子, 電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。